ソニー、感度が従来比2倍のデジカメ向けCMOSセンサー

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ソニー、感度が従来比2倍のデジカメ向けCMOSセンサー

裏面照射型CMOSイメージセンサーの画素断面構造

　ソニーは11日、従来比約2倍の感度と低ノイズ性能を持つ「裏面照射型CMOSイメージセンサー」を開発したと発表した。民生用のデジタルカメラおよびデジタルビデオカメラ向けとしている。

　開発したのは、有効500万画素、画素サイズ1.7μm、60フレーム/秒の裏面照射型CMOSイメージセンサー。

　従来の表面照射型と異なり、シリコン基板を反転させた面(裏面側)から光を照射する裏面照射型を採用。裏面照射型は、配線やトランジスタの影響を受けることなく、単位画素に入る光の量を増大させることができることから、高感度化と低ノイズ化が期待できる方式。ただし裏面照射型はその構造や工程に起因するノイズ、暗電流、欠陥画素、混色などが発生し、SN比の低下につながっていた。

　ソニーでは、裏面照射型に最適化した独自のフォトダイオード構造とオンチップレンズを開発。その結果、同じサイズのCMOSイメージセンサーに対し、SN比で+8dB(感度+6dB、ノイズ-2dB)を実現したという。

　また、裏面照射型では、配線層の多数化や自由なトランジスタ構成が可能になるため、さらなる高速化や高ダイナミックレンジ化が期待できるという。

表面照射型と裏面照射型の断面比較

■ ＵＲＬ
　ソニー
　 http://www.sony.co.jp/
　ニュースリリース
　 http://www.sony.co.jp/SonyInfo/News/Press/200806/08-069/

（本誌：折本幸治）
2008/06/11 15:02

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