縮小投影型露光装置。最近の機種では、空気中での解像度の限界を超えるべく、縮小投影レンズとウェハの間を純水で満たした「液浸」の技術が用いられる

縮小投影型露光装置。最近の機種では、空気中での解像度の限界を超えるべく、縮小投影レンズとウェハの間を純水で満たした「液浸」の技術が用いられる