君はウルトラマイクロニッコールを知っているか(20/31)

年代と線幅の変遷。少しずつ短波長にシフトしていき、現在はダブルパターニング（1つの回路を密集度の低い2つのパターンに分け、分割露光する手法）も用いられる。