パナソニック、業界最高の高感度を実現した新MOSセンサーを開発

　パナソニックは12日、業界最高という高感度性能などを備えた新MOSイメージセンサー「SmartFSI」を開発したと発表した。デジタルカメラ向けに12月から量産する。

SmartFSI

　同社のMOSイメージセンサー「νMaicovicon」（ニューマイコビコン）の高感度化と画質の均一性を両立したとする撮像素子。今回開発したのは1/2.33型有効約1,420万画素タイプの「MN34110」。総画素数は約1,530万画素。アスペクト比は4：3で、画素ピッチは1.43×1.43μm（いずれも暫定仕様）。順次、シリーズ展開していく。

　新たに、最先端という32nmおよび45nmのプロセス技術を導入。配線層の低背化に加え、開口面積とフォトダイオード体積の拡大を図った。これにより、MOSイメージセンサーとして業界最高となる感度3,050el/lx/sec/μ平方mを実現したとする。

　フォトダイオード体積の拡大では、隣り合う画素のフォトダイオードを電気的に分離する素子分離形成の低ダメージ化と微細化を行なうことでノイズを抑えた。

　イメージセンサーでは、オンチップレンズ、カラーフィルター、集光構造を通りフォトダイオードに光が達する。その際、各部材同士の境界面で光の漏れが生じ混色の原因となる。入射光の角度が大きくなるとこの現象が顕著になるが、SmartFSIでは、3次元波動解析を駆使してオンチップレンズや集光構造を最適に設計する新集光構造を採用。光の漏れを最小化できたことで、画質の均一性が高いとされるCCDと同等以上の画質を達成したとする。レンズとセンサーの距離が短い薄型カメラでも画像の中心部と周辺部で色ムラや輝度ムラを抑えることができるという。

　製造工程がシンプルな従来のMOSセンサー構造を基本としているため、供給安定性を確保できるとしている。