ソニーの「Exmor R」が第57回大河内記念生産賞を受賞

　財団法人大河内記念会は4日、生産方式の研究における功績を称える「第57回大河内賞」を発表した。デジタルカメラ関連では、ソニーおよびソニーセミコンダクタ九州が“高画質裏面照射型CMOSイメージセンサの開発と量産化”で「大河内記念生産賞」を受賞した。

ソニー製裏面照射型CMOSセンサー「Exmor R」。（DSC-WX1およびDSC-TX1に搭載した1/2.4型有効1,020万画素タイプ）	Exmor Rの仕組み

　裏面照射型CMOSセンサーは、配線層の無い裏面から光を入射させることで光のロスを抑えた撮像素子。高感度で低ノイズとされている。原理は20年以上前から知られていたが、製造が難しいことから実用化に時間がかかっていた。

　ソニーでは、裏面照射型CMOSセンサーの製造に必要なシリコン基板を極めて薄く削る工程、フォトダイオードの境界面で発生するノイズの特殊処理による抑制、製造プロセスの最適化による基板歪みの最小化といった独自の技術を確立し量産に成功。「Exmor R」の名称で2009年2月に実用化した。「裏面照射型CMOSセンサーの量産化を実現して広く普及させたことが高く評価された」（ソニー）。

Exmor Rの製造工程	Exmor Rを搭載した最新モデル「サイバーショットDSC-HX9V」（1/2.3型有効1,620万画素。11日発売）

　当初ハンディカムでの採用からスタートし、2009年9月にはExmor Rを初めて搭載したコンパクトデジタルカメラ「サイバーショットDSC-TX1」および「サイバーショットDSC-WX1」の発売に至っている。

サイバーショットDSC-TX1	サイバーショットDSC-WX1

　現在、裏面照射型CMOSセンサーはコンパクトデジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、携帯電話などで広く採用されており需要が拡大している。製造拠点の1つであるソニーセミコンダクタ九州長崎テクノロジーセンターでは、2011年度に約1,000億円を投じて裏面照射型を含むCMOSセンサーの増産を図る。

ソニーセミコンダクタ九州長崎テクノロジーセンター

　大河内賞は、ピストンリングやマグネシウムの製法を発明したことで知られる故大河内正敏博士の功績を記念した賞。日本の生産工学、生産技術の研究開発、高度生産方式の実施などに関する顕著な功績を表彰するもの。