従来の裏面照射型SPADセンサー(左)と電荷収集構造を持つSPADセンサー(右)の断面図と平面図のイメージ

従来の裏面照射型SPADセンサー(左)と電荷収集構造を持つSPADセンサー(右)の断面図と平面図のイメージ