（参考）会場に展示された投影光学系のモックアップ。従来の投影露光装置ではこのような大がかりなレンズが必要だった

（参考）会場に展示された投影光学系のモックアップ。従来の投影露光装置ではこのような大がかりなレンズが必要だった