ソニー、UV波長域対応・約813万画素の産業用2/3型CMOSセンサー。グローバルシャッター機能を搭載

ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社は、UV（紫外線）波長域に対応した2/3型CMOSセンサー「IMX487」のサンプル出荷を9月に開始する。

グローバルシャッター機能を搭載し、UV波長域に対応したCMOSセンサーで業界最多という有効約813万画素を特徴とする産業用製品。UVカメラの既存市場である半導体パターン欠陥検査をはじめ、様々な用途での活用が期待されるとしている。

本製品はUV波長域（一般に10nm〜400nmとされる）の中でも、産業用の検査などに適した200nm〜400nmの波長に対応。構成部材や受光部構造もUV波長域に特化している。独自の裏面照射型画素構造によるグローバルシャッター機能と、積層型による配線レイアウトの自由度の高さにより、歪みのない高い撮像性能と高速性（10bitモード時で193fps）を兼ね備える。

UVカメラは、可視光では困難な素材の選別や、物体表面上の微細な傷などを確認できることから、従来から半導体パターン欠陥検査などに用いられてきた。より用途を広げるために、UV波長域における感度だけでなく、解像度、低ノイズ性能、高速性を併せ持つイメージセンサーへの要望が高まっていたという。

アプリケーション例。ニュースリリースより